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半导体参数测试

发布作者:admin 发布时间:2018-07-14 18:57:11 点击率:




 

亲眼见证创新! 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪,可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪, 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试,Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程,快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置,不管是现在还是未来,都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪,通往发现之路现在变得异常简便。

主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

  • ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
  • 100 fA测量分辨率
  • 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
  • 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
  • 四象限操作
  • 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

  • AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
  • 1 kHz - 10 MHz 频率范围
  • ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
  • 选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
  • 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
  • 200 MSa/s,5 ns 采样率
  • ±40 V (80 V p-p),±800 mA
  • 瞬态波形捕获模式
  • 任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)

  • 两个高速脉冲电压源通道
  • ±40 V (80 V p-p),± 800 mA
  • 任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
  • 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
  • 把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
  • 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
  • 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
  • 降低电缆电容效应

为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪

使用强大的Clarius 软件,可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试,结果清晰明了

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